Российские ученые разрабатывают революционную технологию генерации плазмы для передовых литографических установок. Инновационный подход открывает перспективу превзойти решения мирового лидера – компании ASML.
Достижения в создании стабильной плазмы
Специалисты ИЯФ СО РАН и ИПФ РАН создают уникальный источник экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения (ВУФ), критически важный для производства новейших микросхем. Уже получены первые обнадеживающие результаты: квазистационарная сферическая плазма диаметром 1 мм с температурой 5 эВ и плотностью 3,5 × 1017 см-3. Ученые планируют повысить температуру до 10–12 эВ.
Эксперименты проводятся на уникальной новосибирской установке – лазере на свободных электронах (НЛСЭ), единственном в мире, способном генерировать стабильный непрерывный терагерцевый разряд.
Перспективы компактных решений
Россия уверенно движется к созданию собственного производства передового полупроводникового оборудования. Разработанная технология в будущем реализуется в более компактных установках на основе терагерцевых гиротронов ИПФ РАН.
Ксенон против олова: преимущества новой технологии
Микроэлектроника требует источников экстремального ВУФ-излучения (10–30 нм) для миниатюризации чипов. В отличие от распространенного подхода с импульсной плазмой из олова (который использует ASML и другие), российские ученые применяют ксенон и субмиллиметровое излучение.
Ведущий научный сотрудник ИЯФ СО РАН, д.ф.-м.н. Виталий Кубарев объясняет: "Оловянная плазма изначально нестабильна, а разлетающиеся частицы загрязняют дорогостоящую оптику, требуя частой замены. Наше решение на основе ксенона предлагает принципиально иную, более надежную альтернативу".
Сложности мирового производства литографов
Нидерландская ASML доминирует на рынке EUV-литографии (90% в 2024 году). Технологические барьеры оказались столь высоки, что даже США и Япония ограничились ролью поставщиков компонентов.
Китай демонстрирует прогресс: пробное производство EUV-литографов с применением олова планируется запустить в III квартале 2025 года, а массовое – в 2026. Тестирование прототипа ведется в исследовательском центре Huawei в Дунгуане.
Источник: www.cnews.ru
